半导体上用的活性炭有哪些

　　在半导体制造中，活性炭主要用于废水处理、超纯水制备及空气净化等环节，具体应用类型如下：

　　一、废水处理用活性炭

　　1. ‌木质活性炭‌

　　 以木材为原料，孔隙结构发达，对废水中的有机污染物和重金属离子吸附效果显著，常用于高纯水制备系统1。

　　2. ‌煤质活性炭‌

　　以煤为原料，耐酸碱和高温，对酚类、油类等有机物的去除率高达90%以上，适合复杂废水环境1。

　　3. ‌椰壳活性炭‌

　　微孔结构丰富，对小分子有机物(如微量溶剂残留)和重金属离子吸附能力更强，适用于半导体废水终端处理1。

　　二、超纯水制备用活性炭滤芯

　　‌挤出式活性炭滤芯(如果壳基/煤质复合滤芯)‌

　　采用果壳炭及煤质活性炭为原料，结合食用级粘合剂，可高效去除水中有机物、放射性物质及异味，确保超纯水系统的终端水质达标2。

　　三、空气净化用活性炭

　　‌高吸附性能活性炭‌

　　用于洁净室及生产线空气过滤系统，吸附有机污染物(如挥发性有机物VOCs)及有害气体，配合HEPA过滤器维持ISO Class 1-5级洁净环境8。

　　四、其他应用

　　‌溶剂回收与气体分离‌

　　活性炭通过气相吸附技术可回收半导体制造中使用的溶剂蒸气，减少资源浪费和环境污染7。